基本原理：

　　脈沖激光束經(jīng)透鏡會聚后輻照在固體靶的表面，激光傳遞給靶材的能量大于熱擴散和熱輻射帶來的能量損失，能量在靶表面聚集，當能量密度超過靶材的電離閾值時，即可在靶材表面形成等離子體，具體表現(xiàn)為強烈的火花，并伴隨有響聲。

　　激光誘導(dǎo)的等離子體溫度很高，通常在10000K以上，等離子體中含有大量激發(fā)態(tài)的原子、單重和多重電離的離子以及自由電子，處于激發(fā)態(tài)的原子和離子從高能態(tài)躍遷到低能態(tài)，并發(fā)射出具有特定波長的光輻射，用高靈敏度的光譜儀對這些光輻射進行探測和光譜分析分析，就可以得到被測樣品的成分、含量等信息。通常經(jīng)過聚焦后的激光功率密度達到GW/cm2量級，光斑處物質(zhì)蒸發(fā)、氣化和原子化后電離，形成高溫、高壓和高電子密度的等離子體。

　　

　　在原子內(nèi)會發(fā)生什么？

　　在高能脈沖激光激發(fā)樣品時，外層原子外殼層內(nèi)的電子會被激發(fā)。由于外殼層內(nèi)的電子處于內(nèi)殼層電子的遮蔽之下，所以受原子核的吸引力不強。這也就是說，激發(fā)外殼層電子所需的能量較少。

　　被激發(fā)的電子會形成電子空位，使得原子變得不穩(wěn)定。在脈沖停止后，等離子會開始冷卻，外電子殼層上的電子會逐級填補空位。電子在兩個能量級或殼層之間移動時所釋放的大量能量會根據(jù)元素不同以光的形式發(fā)射出來。